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化学分析仪器色谱离子色谱(IC)

GC-9560-PDD 四氯硅烷分析用氦离子色谱仪

供应商:
上海华爱色谱分析技术有限公司
联系人:
市场部 查看联系方式
地址
上海市宝山区逸仙路3945号6号楼

产品简介

GC-9560-PDD四氯硅烷分析用氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。

详细信息

GC-9560-PDD四氯硅烷分析用氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。四氯硅烷分析用氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市高新技术成果转化*项目。

 

硅(SiHCl3)含量(体积分数)/l0-6                                                                   40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(体积分数)/l0-6                                                                   40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(体积分数)/l0-6                                                         20050
金属元素及其他元素含量(硼+铝)(B+Al)含量/(µg/kg)                          ≤——0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg)                      ≤——0.3
镓(Ga)含量/(µg/kg)                            ≤——0.5
锑(Sb)含量/(µg/kg)                               ≤——0.5
铟(In)含量/(µg/kg)                              ≤——0.5
钙(Ca)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
铬(Cr)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
铁(Fe)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
钾(K)含量/(µg/kg)                                ≤10.5
钠(Na)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
镍(Ni)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
钼(Mo)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
锰(Mn) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
铜(Cu)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
镉(Cd) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
钴(Co)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
锌(Zn)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
钒(V)含量/(µg/kg)                                ≤10.5

 

 

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