YZD08-5C 等离子清洗器
产品简介
详细信息
等离子清洗器
技术特点:
1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用、防腐容易清洁。
2.我公司等离子表面处理仪实现了手动,自动两种模式任意切换的工作方式,方便用户实验
3.等离子表面处理仪实现了程序化设计,预先编辑好程序,仪器可以自动完成实验
4.无需任何耗材使用成本低,无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可
5.我公司等离子表面处理仪采用电容式等离子激发,处理效果均匀,激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染
7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠,具有自动保护功能。
8.灵活的参数设置和修改功能,可适应多种处理工艺。
9.采用皮拉尼真空技术,实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。
10. LED+金属按键控制方式,操作方便稳定可靠。
11.双气路设计可以满足更多的实验需求。
等离子清洗器
技术规格
型号 | YZD08-5C |
不锈钢/石英舱体 | Φ150 mm×L255mm |
工作气路 | 两路,可以选配MFC控制 |
射频频率 | 40KHz |
射频功率 | 0-200W/300W可选,可调 |
控制系统 | 按钮+单排LED显示,实时显示和检测舱内真空度值 |
时间范围 | 0—99分59秒连续可调 |
工作压力 | 样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节 |
工作气体 | 空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可 |
进气压力 | 空气:常压 连接气体钢瓶:0.1-0.3Mpa |
工作模式 | 手动模式和程序化自动模式 |
真空泵 | 抽速:1升到5升每秒 |
输入电源 | ~220V/50Hz |
整机尺寸(D*W*H) | 552X590X295mm |
重量(约) | 24Kg |