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离子溅射仪 喷金仪技术参数：

􀂾 真空泵连接真空室，控制单元提供电压。
􀂾 主机的真空室含有金－钯合金靶，玻璃罩样品底座。
􀂾 "O"型密封封闭真空系统.
􀂾 顶部的阴极和磁偏转体统连成一体。
􀂾 喷金仪上的工作电压固定，电流可调.
􀂾 仪器底座面积：20cmX35cmX34cm，重量14 kg。
􀂾 其他可选的靶材: 铂，Pt－Pd，Au。（客户需另外购买

离子溅射仪 喷金仪主要特点：

MSP－1S 喷金仪主要是为钨灯丝扫描电子显微镜的样品制备而设计的喷金仪.
其主要部件包括:
􀂾 样品室
􀂾 真空系统
􀂾 喷金及控制系统