Cressington 208HR 超高分辨多靶材离子溅射仪
产品简介
详细信息
为了答谢广大中国电镜工作者对于英国Cressington产品信赖和支持，以及对于溢鑫科创工作的配合和支持，我司和英国原厂特举办回馈优惠活动：购置超高分辨208HR镀膜系统，将赠送超高分辨膜厚监控仪MTM-20以及高性能旋转倾斜样品台。
磁控冷态喷镀
有冷态镀膜设计使用真正的“平衡磁控管”没有等离子体电流在样品，在得到高分辨非晶镀膜层同时避免样品受到热损伤，对热损伤或辐照损伤敏感样品尤为适合
广泛的镀层靶材选择
特殊双极磁控管头设计和有效的气体离子处理使得208HR拥有广泛多种镀层靶材选择
全自动化设计
自动的换气与泄气功能，溅射电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制保证了均匀*的膜厚，和良好的导电喷镀效果。
超高精度膜厚监控设计
使用可选MTM-20全自动高分辨膜厚监控仪可优化设计镀膜条件达到0.1nm膜厚可控效果
多用途样品托设计
独立的旋转，水平和倾斜 3轴移动设计优化了多样品以及不规则样品的均匀一直镀膜
可变的样品室几何设计
为了优化镀层结构样品室几何设计可用于调整喷镀速度从1.0纳米每秒到0.002纳米每秒
广泛的操作气体压力
独立的电压，电流以及压力回路控制系统允许可操作氩气压力从0.2-0.005mbar真空度
紧凑型时尚桌面式设计
节能，紧凑设计消除了对于楼层空间要求，水要求和专业电气连接要求
镀膜不同多样样品
超高分辨208HR镀膜系统现在针对喷镀不同电镜样品提供了较理想的解决方案。为了减小喷镀晶粒尺寸影响，208HR提供一套全系列的镀膜靶材材料和*的膜厚镀层控制条件。为了更小优化充电效果，208HR的特殊样品台设计和大范围的操作压力提供了高精度的镀膜*性和统一性。 高低样品室的配置也提供了更为方便的工作距离调整。
可调式旋转倾斜水平样品台 超高分辨全自动膜厚监控仪 MTM-20
208HR超高分辨镀膜仪技术规格：
样品仓尺寸： 150mm 直径， 三个高度可调，适用高度不同样品，高强度硼硅酸盐玻璃
溅射管头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
喷镀靶材：铬，铂/钯 标配， 金，钨，铜，铝，铱，银等选配，其他材料按客户需求提供
溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，大180A，配有过流保护，数字化可选电流（20，40，60 或80毫安）
样品台：可放置12个标准EM样品座，0到90度倾斜可调的旋转水平样品台
模拟计量：真空 Atm - 0.001mb 电流: 0 – 80mA
控制方式： 全自动喷镀控制，自动卸真空自动进气功能，使用可编程电压控制和计时数字计时 (0 – 300秒)以及暂停设计；全自动真空监测系统
真空系统： 标配无油分子泵真空以及机械泵真空系统，泵抽速达到每秒70L，1.5分钟内抽到真空度到1 x 10-4 mbar, 极限真空优于5 x 10-6 mbar，附带减震台的桌面式真空泵设计，全金属耦合系统
全自动超高分辨膜厚监控仪技术规格：
MTM-20 基于微处理控制，4位显示系统，6MHZ晶体监探器，每秒5次实时监控 MTM-20
膜厚监控范围： 0到999.9纳米
分辨率： 优于0.1纳米
密度范围：0.50到30.00gm/cm3
安装环境要求：
电源：200-240 VAC, 50/60Hz
功率：550VA
氩气要求：99.99% 纯氩气，压力设定0.5/0.6 bar, 6.0mm管路接口
设备尺寸：宽600mm， 深600mm，高450mm, 重量40kG