Pico Diener Pico 等离子清洗机
产品简介
详细信息
Diener Pico 等离子清洗机分析 (REM, TEM)
考古
汽车行业
研究和开发部门
半导体技术
小批量生产
塑料技术
医疗技术
微系统技术
传感器
灭菌
纺织技术
概况介绍 PICO
Diener Pico 等离子清洗机基本设备
根据具体组件 / 选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本，分为 4 - 15 升
供电电源： 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位
气源
针型阀
质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
圆形不锈钢件，配有盖子
（大约 ? 150 mm, 长 320 mm 或者长 600 mm）或者矩形不锈钢件，配有铰链的门
（约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门
（大约 ? 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门
（大约 ? 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门
（大约 ? 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）
装载件
产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
电极
单层或多层
RIE
控制系统
半自动型
PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
压力测量
Pirani
Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器
数字型
发生器
| 频率： | 40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W | |
| 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W |
所有发生器均为 0 - * 无级可调型
真空泵
规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。