Zepto diener Zepto 等离子清洗机
产品简介
◇ 小批量生产 ◇ 分析 (REM, TEM)
◇ 医疗技术 ◇ 灭菌
◇ 研究和开发部门 ◇ 考古
◇ 纺织技术 ◇ 塑料技术
详细信息
应用范围:
1、用于清洗:几乎所有的材料都能使用等离子进行精密清洗。
2、用于表面激活:几乎所有的材料都能通过等离子被激活。
3、用于蚀刻:塑料、半导体、玻璃。
4、用于涂层:所有的工业材料、金属、玻璃、陶瓷。
概况介绍 Zepto
基本设备
根据具体组件/选装件,外壳规格会有所不同
腔室容积:根据具体版本,分为 1.7 - 2.6 升
供电电源: 230 V
气源
针型阀
质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子
(大约 ? 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm)圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子
(大约 ? 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm)
装载件
产品支架: 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
电极
单层或多层
控制系统
手动型
PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
压力测量
Pirani
计时器
数字型
发生器
频率: | 40 kHz: 功率 0 - 100 W |
13.56 MHz: 功率 0 - 50 W |
真空泵
规格和制造商均各有不同(按照?