北京哈科半导体测量显微镜
产品简介
详细信息
北京哈科半导体测量显微镜产品特点; 测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
1. Z轴光栅尺分辨力为0.1μm
2. X、Y轴采用空气轴承、花岗石导向，保证了机械系统的精确稳定，提高了测量精度
3. X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高、速度快，运行平稳
4. 同轴光/底光测量
5. 内置偏光测量光学模块
6. 自主开发QMS3D-M软件，高清晰进口1/2"彩色摄像机
7. 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，可适应复杂工件的测量
8. 可实现Z轴自动对焦
9. 具有偏光和DIC检测功能
10. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度
北京哈科半导体测量显微镜产品规格参数：
型号 | JTM-6065C | JTM-6090C | ||
工作台 | 玻璃台尺寸(mm) | 690*770 | 640*1070 | |
X、Y运动行程(mm) | 600*650 | 600*900 | ||
Z向行程(mm) | 200 | 200 | ||
外形尺寸(mm) | 1500*1350*1510 | 1800*1350*1510 | ||
仪器重量(kg) | 1300 | 1550 | ||
X、Y、Z向分辨力(um) | 0.1 | |||
X、Y示值误差(um) | E1XY=(2.5+L/200) | |||
物镜放大倍率误差 | 包括畸变在内的放大率误差：≦0.08% | |||
落射照明光源 | 可调高亮度LED灯源 | |||
底光照明光源 | 可调条型光源 | |||
电源 | AC 100V-240V 50/60Hz | |||
气源压力 | ≧0.5MPa | |||
空气流量 | 120L/min(0.4 MPa) | |||
温度范围 | 20±2℃＜1℃/h ＜2℃/24h ＜1℃/m | |||
湿度 | 55%~65% | |||
目视系统 | 影像系统 | |||
物镜放大倍数 | 5X、10X、20X、50X | |||
目镜放大倍数 | 10X双镜筒 | 1/2”CCD摄像机 | ||
总放大倍数 |
50X~500X | 140X~1400 (17”显示嚣，分辨率1024*768) | ||