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三维表面形貌测量仪InfiniteFocus G5

自动变焦三维表面形貌测量仪InfiniteFocus G5是奥地利Alicona公司研发生产的集微型三坐标测量和表面形貌测量于一体的光学测量系统。

突出特点：

一款*的3D光学测量仪

InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。

万能和高效

LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。

高分辨，高可重复性和可溯源

即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率

高测量速度

InfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。

模块化和可扩展性

新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合

全自动

测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等

 主要技术参数：

位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm

样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2µm，取决于表面结构

样品高度：100mm ～ 345mm

样品重量：30kg

水平分辨率：0.44µm

垂直分辨率：10nm

扫描高度：22.5mm

扩展视野范围：10000mm2

单一方向扫描范围：100mm

测量速度:170万个测量点/秒

测量高度：0.01µm

测量高度：22.5mm

测量范围：10000mm2

测量形貌长度：100mm

可重复性：0.001µm

测量粗糙度（Ra）：0.03µm

测量粗糙度（Sa）：0.015µm

测量半径：1µm

测量垂直角度：20°

测量倾斜角度：87°

自动变焦 G5比InfiniteFocus G4拥有更*的性能

测量速度增加20倍

自动设置

适用更多材料及更复杂表面的测量

更稳定，更精密的测量

测量精度更高，尤其对于大范围面积样品的测量