徕卡DM8000M 高级显微镜
产品简介
详细信息
徕卡DM8000M 高级显微镜产品特性● 0.7倍高级宏观物镜视野达到40毫米● 徕卡的立体斜照明，可以快速检查晶圆表面的微小裂纹 ●所有物镜均带电子CODE,可被软件自动识别，刻度尺自动伸缩，无需自选
徕卡DM8000M 高级显微镜 的超级暗场术背景更黑缺陷一目了然 ●
UV高分辨率，可以快速直接观察到120纳米的线条
●立体UV观察，可以对凸块，沟槽侧壁清晰地观察
●大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查（DM12000M）
● 采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利
● 多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求
● 透射和反射照明可同时使用，*提高液晶基板观察效果LEICA DM8000M LEICA DM12000M 产品特点缩短检查用时，提高检查效率自动聚焦附件透射光检查照明的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式，甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦，甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。两种照明装置可选，通用型及高数值孔径型。为FPD，MASK板检查提供合适的照明，并且可配备起偏镜，实现投射光简易偏光观察。高反差，更高分辨率，更高倍率检查用于光刻胶残留检查的荧光观察方式荧光分光镜模块 UV光学系统可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可达0.12μm。
备有U.B.G等多种荧光方式可选，用于光颗胶残留以及OLED检查。方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C用于晶圆以及器件，甚至焊脚的内部检查近红外线观察附件标配包括一个RS232C接口，使得用PC控制显微镜电动部分成为可能，
并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。包括专门的红外物镜等附件，对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正，用于IC深层或内部检查，可实现对WAFER BUMP的全面检查自动线宽CD测量附件以亚像素技术实现高度精确的CD测量，