仪器网

Prep-5型 等离子清洗/刻蚀机

真空舱体 ；Φ150mm × L320 mm　水平 （5 升） 
* 不锈钢舱体 
* 40KHz 射频发生器 
* 高效针孔电极 
* 数字计时器可自动设定操作程序 
* 皮拉尼真空泵可设定重复操作 
* 铜气体管、气体流量计、 针阀 
* 使用气体流量计和针阀控制气体 
* 自动计时器控制等离子处理过程 
* 半自动控制 
* 功率连续可调 0-200W 
* 自动阻抗匹配 
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁

* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱 
* 规格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 电源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：莱宝Leybold Type Trivac D2.5B （2.5 m3/h）
选装件 
* 13.56 MHz 射频发生器 
* 2.45 GHz 射频发生器 
* 硅酸盐舱体（外置环形电极）或石英舱体

配件选装指南

·  13.56MHz射频发生器   

 ·  2.45GHz射频发生器    

 ·  半自动控制系统 

  ·  全自动控制系统- 操作轻松简便的控制系统 

·  计算机（PC）控制系统- 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程 

·  附加气体通路   

 ·  自动真空舱门    

·  设备自动门   

·  条码阅读器  

 ·  偏压测量系统  

 ·  碟型阀 

·  排气过滤系统   

 ·  适用于腐蚀性气体系统    

·  舱体托盘可订做 - 适合舱体的*尺寸 

·  粉末处理装置    ·  法拉第容器 

等离子清洗应用领域:

金属---去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层

汽车制造---用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理

纺织品生产---用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理

生物医疗---培养皿提高活性，血管支架，注射器，导管和各种材料的亲润，交合涂覆前处理。

航空航天---绝缘材料，电子元件等表面涂覆前处理

电子---线路板的清洗和蚀刻。胶片，PP等材料的无氧化和活化处理，改进可焊性

半导体行业---晶圆加工及处理去除光刻胶，封装前预处理

LED---支架清洗封装前预处理

塑料橡胶- --提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。

等离子清洗机应用：

1．表面活化/清洗； 2. 等离子处理后粘合;  3. 等离子蚀刻/活化;  4. 等离子去胶;   5. 等离子涂镀（亲水,疏水）;  6. 增强邦定性.