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l Tetra-8-LF型 等离子溅射机

真空舱体 W160mm × H160mm × D325 mm （8 升）
* 纯铝，可视观察玻璃，带安全保护舱门
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 全自动控制
* 功率连续可调 0-300W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：W600mm × H1700mm × D650mm
* 电源：AC 400V/50Hz
* 真空泵：莱宝Leybold Type Trivac D4B （4 m3/h）

l 选装件:
* 13.56 MHz 射频发生器
* 2.45 GHz 射频发生器
详情参见配件选装指南

 ·  13.56MHz射频发生器   

·  2.45GHz射频发生器  

 ·  半自动控制系统  

 ·  全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统 

·  计算机（PC）控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程   

 ·  附加气体通路  

  ·  自动真空舱门  

  ·  设备自动门    

·  条码阅读器   

 ·  偏压测量系统        

 ·  碟型阀   

 ·  排气过滤系统    

·  适用于腐蚀性气体系统    

·  舱体托盘可订做 - 适合舱体的*尺寸 

·  粉末处理装置  

 ·  法拉第容器  

 ·  气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体   

 ·  玻璃舱体（硅酸盐或石英）    

 ·  预热板 

·  等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中

等离子清洗应用领域:

金属---去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层

汽车制造---用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理

纺织品生产---用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理

生物医疗---培养皿提高活性，血管支架，注射器，导管和各种材料的亲润，交合涂覆前处理。

航空航天---绝缘材料，电子元件等表面涂覆前处理

电子---线路板的清洗和蚀刻。胶片，PP等材料的无氧化和活化处理，改进可焊性

半导体行业---晶圆加工及处理去除光刻胶，封装前预处理

LED---支架清洗封装前预处理

塑料橡胶- --提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。

等离子清洗机应用：

1．表面活化/清洗； 2. 等离子处理后粘合;  3. 等离子蚀刻/活化;  4. 等离子去胶;   5. 等离子涂镀（亲水,疏水）;  6. 增强邦定性.