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微电子等离子清洗机YZDO8-2C

等离子清洗机型号：YZDO8-2C
• 不锈钢舱体：Φ100mm×270mm
• 处理过程：分手动与自动控制
PLC触摸屏控制
• 功率：150W
• 电源：220V
• 射频电源：40KHz（13.56KHZ可选配)
• 外形型号：440*390*200
容量：2升

深圳三和波达机电科技有限公司生产的等离子清洗机YZD08-2C的基本结构：
1、射频电源部分：射频源，射频调节，功率放大，功率调节，功率输出，输出保护，等离子电极，温度保护。
2、系统控制部分：数字自控，I/O控制，真空度A/D检测，脉宽比例D/A调节，参数记忆，时钟设定。
3、真空与气路部分：真空系统，外加气体，流量调节，回气与管路
三和波达等离子清洗机、对于小型等离子清洗机而言，由于射频功率较小，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，一是减少空间的占用，二是便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上尽量简练。图1为小型机外形。
小型等离子清洗机的工作流程和技术条件：
深圳小型等离子清洗机的系统在满足设定真空度的条件下，启动射频源工作，产生40KHz 的射频脉冲，经过功率放大送到输出级，输出级的作用有三点：一是隔离，二是升压，三是匹配，使具有足够能量的射频脉冲去激发高压极板产生等离子。
功率大小的控制与调节可在系统中进行数字设置，也可通过手动调节。实质上功率的调节是由改变射频脉冲宽度来实现的，图4和图5两个射频脉冲坐标示意图很形象的说明了功率调节的原理。
这里所说的理想情况下的射频脉冲输出，是不考虑器件和磁性材料的损耗而表示的，实际的射频脉冲波形都是有一定畸变的，但当畸变程度过大时，就会使输出的有效功率大大降低，不仅不能正常产生等离子，而且还会烧毁设备。另外过多谐波脉冲分量也会造成射频效率的降低，使设备不能正常工作，甚至烧毁。因此等离子清洗机对射频电源的技术要求是很高的