真空等离子清洗机 等离子体电浆清洗机 等离子清洗设备
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真空等离子清洗机 等离子体电浆清洗机 等离子清洗设备
等离子设备(电浆清洗机)广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。东信等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择多种射频电源发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。主要应用于LCD、LED、连接器、键合前等大规模生产领域。
所有元器件及核心部件采用进口,保证了整机的稳定性和使用寿命。
真空泵采用进口旋片泵,是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系,在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验,使泵的寿命大大提高,并有效降 低了泵的维护成本,泵的各项保护措施完善,提高了长时间工作极限,泵油为耐高温、抗氧化油,泵具有可自行缓解温度过高的散热体系,无需水冷。泵体内置于机柜内部,使机器紧凑,占地面积小。
真空等离子清洗机 等离子体电浆清洗机 等离子清洗设备特点:
自动控制系统采用PLC加触摸屏控制,所有工艺参数、工艺过程实时监控,并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间纪录,适合维护,可以提供工艺参考。
可存储50组工艺配方,随意调用。
清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。
工艺参数受密码保护,分级密码管理查询。
一键完成全自动工艺,实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。
自动提醒系统维护、更换真空泵油等,避免机器过载、过老化情形下工作,延长使用寿命。
气体质量流量计采用美国进口,由模拟量输入输出,量程为0~200sccm可在量程范围内无级调节,根据特殊的工艺要求可用PLC对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。
根据特殊的工艺要求可使用干泵,尾气处理设备,油过滤器,过滤返油装置等。电极结构(已申请)的高等离子通量设计能很好地提高等离子体的均匀性及稳定性。经过等离子处理之后的成品不易出现死灯现象,有效提高良品效率。
真空等离子清洗机 等离子体电浆清洗机 等离子清洗设备广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。