MCRS ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器
产品简介
详细信息
一、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器产品优势
操作简单
Alicat 质量流量计&质量流量控制器操作极其简单，用户可通过多功能数字显示屏调节参数，无需连接电脑或其它任何复杂的编程软件。
精确控制
Alicat 标准型质量流量计&质量流量控制器的精度为±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，几乎所有型号通过增加高精选配项可达±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性价比
Alicat 质量流量计&质量流量控制器本身耗电极小，从而降低了系统运营的成本，且相比于同类产品，其压损较低，降低压损意味着更多气体进入到系统中，而不是停留在测量&控制设备中。除质量流量外，Alicat 质量流量计&质量流量控制器还可同时测量体积流量、压力和温度，您无需另外采购和安装其它设备。使用累加器(TOT)功能可显示流经气体总量，是监控整个应用过程及减少气体浪费的zui有效的方法。MCS系列的模块化设计使其成为真空应用的*选择。
性能
MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量，除了RS-232数字信号输出，还配有多种模拟信号输出。MS系列质量流量计亦有便携式型号(MBS系列)，采用一块普通9伏电池供电，即成为一款适用于腐蚀性气体的二等标准流量校准设备。
反应灵敏
与相应标准型M/MC系列相同，MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器(防腐蚀型)其测量响应小于10毫秒、控制响应为100毫秒。
高重复性
Alicat 的技术使得质量流量计&质量流量控制器几乎没有可移动部件，所有零件都被内置固定，腔体内不存在物理变化，从而具有较高的*性和重复性。所有Alicat 质量流量计&质量流量控制器的重复性可达±0.2% F.S。
值得信赖
现有超过90000台Alicat设备正被使用在不同领域中，质量流量控制器主要应用于医药、半导体、燃料电池、如：科学研究、泄漏测试、环境监测、 真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量&控制等。所有Alicat 设备均具有NIST可溯源校准证书。
二、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器标准性能
- 多功能数字显示屏
- 显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
- 低压损
- 无需预热
- 316L不锈钢本体&传感器
- FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可选
- 可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
- 内置130种常用气体可选 ，开放COMPOSER? — 气体编辑器，允许用户自定义混合气体组分
- 200:1 量程可调比
三、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器性能参数
指标 | ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
精度 | ±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程） |
重复性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
响应时间 | 100ms |
标准状态(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
温度范围 | -10～50 |
零点漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
湿度范围 | 0-100% |
测量流量范围 | 128％（过流率） |
zui大耐压 | 145psi |
输出信号（数字） | 质量流量、体积流量、压力和温度 |
数字信号可选 | RS485，Modbus，Profibus |
输出信号（模拟） | 质量流量、体积流量、压力和温度 |
模拟信号可选 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
电气连接 | 8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定） |
供电电压 | 7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC） |
供电电流 | 0.035A（4-20mA输出时为：0.055A） |