M3030VA linetech气体质量流量控制器
产品简介
详细信息
一、linetech气体质量流量控制器产品特点
- 测量质量流量
- 无需温度和压力补偿
- 结构紧凑
- 精度高
- 工作压力高
- 响应时间快
- 重复性高
二、linetech气体质量流量控制器技术参数
型号 | 质量流量计 | 质量流量控制器 |
流量范围(N2) | 10SCCM~1000SLPM | 10SCCM ~ 300slpm |
响应时间 | <2 sec | <2 sec |
精准度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重复精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
输入/输出信号 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供电电源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
耐压 | <90bar | 0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范围 | 2 ~ 100% | 2~ 100% |
三、linetech气体质量流量控制器接口尺寸
