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测量/计量仪器表面测量仪器台阶仪

Alpha-Step IQ 台阶仪

供应商:
巨力科技有限公司
企业类型:
经销商

产品简介

KLA Tencor是世界上zui*的微电子和半导体领域设备供应商。 Alpha-Step IQ是其第八代台阶仪。主要应用于薄膜厚度测量、样品表面形貌测量、薄膜应力测量、样品表面粗糙度/波纹度测量、以及样品表面三维形貌测量等众多领域。

详细信息

Alpha-Step IQ是*的探针台阶仪,集高测量精度、多功能性和经济性于一体。是生产线及材料分析等应用的理想选择。由于其具有7.5Å (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。是目前商业化仪器里(经过市场考验)zui高精度的台阶仪。是成熟的产品。

Alpha-Step IQ采用天然金刚石(Diamond)作为探头,经久耐用。探针更换简便、快速。

主要应用于薄膜厚度测量、样品表面形貌测量、薄膜应力测量、样品表面粗糙度/波纹度测量、以及样品表面三维形貌测量等众多领域。软件具有保护测针以免发生损坏功能:
★无论何时只要测针下伸的时间超过 60 秒,但仍然没有开始扫描,测针将自动升起。
★当测针达到其测量范围的上*,测针自动缩回,扫描终止。(备注:当测针达到其上*,屏幕上的迹线停止上升,而变为水平。)
★为了安全起见,可以用程序设置升降器,使其仅可以降低到一个预设的限制。

Alpha-Step IQ探针扫描是双方向的,即可以从左向右,又可以从右向左。

Alpha-Step IQ为可为用户提供中文操作界面,可以提供*(official)中文操作手册。

Alpha-Step IQ的软件友好,功能强大。

可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度;
可分析表面粗糙度
具有7.5Å (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率

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