探针轮廓仪（台阶仪）

供应商：: 铂悦仪器（上海）有限公司

企业类型：: 代理商

产品简介

Dektak 8台阶式探针轮廓仪，结构紧凑，可提供很高的重复性和精度。*的X–Y方向定位系统可移动到8 x 8 inch区域的任何位置。它不仅能测量台阶高度和表面纹理，还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak 8系统对于MEMS，纳米技术和半导体应用都非常方便。

详细信息

技术参数

台阶高度重复性: 7.5Å,1σ在1um标准台阶上
zui大晶圆尺寸：200mm
zui大样品厚度：25.4mm （1 in.）
每次扫描数据点：zui多可达60，000数据点
扫描长度范围：标配zui大50mm
垂直范围：标配262um；可选1mm
zui大垂直分辨率：1Å （6.55微米垂直范围下）

主要特点

1. 台阶高度测量重复性高
2. 是功能zui为强大的探针轮廓仪，可zui大限度的满足各种应用需要
3. 简单易用
4. 作为一款桌面型轮廓仪，扫描范围可达200mm