ET4000 日本Kosaka轮廓仪（台阶仪）
产品简介
详细信息
日本Kosaka轮廓仪（台阶仪）
日本Kosaka株式会社于1950年成立，专业生产、开发和销售各种精密测试仪器、液压设备、自动机械和包装机械等产品。公司于1950年推出其*个产品，SD-1表面粗糙分析仪。从此，在随后的五十多年，产品不断完善和更新，Kosaka公司的精密分析仪器始终是行业里的者。
ET4000台阶仪介绍：
ET4000是Kosaka公司推出的全自动接触式微细形状测定仪，具有高精确性、稳定性和重复性，可测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复精度，并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置，通过选配三维成像附件套装还可以*地扩充仪器的功能。
主要参数：
| zui大样品尺寸 | 210x210mm；300x400mm |
| 重复性 | 1σ0.5nm |
| 测量范围 | Z：100μm ；X：100nm；Y：150-400mm |
| 分辨率 | Z：0.1nm；X：0.01μm |
| 触针力 | 0.5μN-500μN |
仪器特点：
l 具有的台阶高度重复性5Å （1σ）和线性度（垂直线性度：200nm以上为±0.25%；200nm以下为0.5nm）。
l 高分辨率，纵轴zui大分辨率为0.1nm，横轴为0.01μm，可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度。
l 超高直线度： 0.005μm/5mm，可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等。
l 低测定力：采用直动力LVDT检出器，触针力在0.5μN～500μN范围可以任意调节，可测定软质材料。