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 NanoMap 500LS扫描三维表面轮廓仪 

特点 
 常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的*结合 
 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到*化的小区域三维测图 
 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。 
 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察 
 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（zui大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（zui小０.１nm ） 
 软件设置恒定微力接触 
 简单的2步关键操作，友好的软件操作界面 
应用 
三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。 
薄膜和厚膜的台阶高度测量 
划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量 
空间分析和表面纹理表征 
平面度和曲率测量 
二维薄膜应力测量 
微电子表面分析和MEMS表征 
表面质量和缺陷检测 
环境要求 
湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝 
温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时） 
电源要求：110/240V，50/60 Hz 

技术规格 
类型 项目 规格 
综述 小范围XY扫描头，提供高精确度 
XY平台扫描，提供大尺度测量 
带亮场和暗场的全时彩色CCD照相机 
软件控制触针测量力，范围 0.1-100mg 
触针针尖半径选件 2μm，5 μm，12.5 μm和25 μm，0.1-0.8μm可选 
针尖扫描 
（Piezo扫描器） 台阶高度重现性 0.8nm 
垂直分辨率 0.1nm 
测量高度精细范围 5μm 
测量高度粗略范围 0.5mm 
XY扫描分辨率 0.1μm 
XY扫描定位重现性 0.2μm 
扫描速度 10-50μm/sec 
扫描范围 10-500μm 
每次扫描数据点 100-1000数据点 
样品台扫描 XY样品区域 100mm X 100mm, 150mm安装间隙 
XY平台运动范围 100mm X 100mm（150mm X 150mm） 
XY平台定位重现性 5μm，2μm可选 
zui大扫描长度 50mm 
扫描速度 0.1-5mm/sec 
Z平台范围 55mm 
zui大样品高度 50mm 
手动旋转平台范围 360度 
手动倾斜平台范围 ±2度 
标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100μm 
系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm 
光学照明 软件控制暗场和亮场 
电脑 Pentium IV, USB2.0联接 
操作系统 Win XP 
系统动力需求 90-240V，350W 
空间尺寸 20’’ 宽X 22’’长 X 25’’高 
重量 160lb 三维轮廓仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面轮廓仪、表面台阶仪、薄膜分析仪、表面形貌仪、表面粗糙度仪、非接触式轮廓仪、非接触式台阶仪、非接触式表面形貌仪、非接触式表面粗糙度仪、接触式轮廓仪、接触式台阶仪、接触式表面形貌仪、接触式表面粗糙度仪、探针式轮廓仪、探针式式台阶仪、探针式表面形貌仪、探针式表面粗糙度仪、双模式轮廓仪、双模式台阶仪、双模式表面形貌仪、双模式表面粗糙度仪、三维表面轮廓仪、三维表面台阶仪、三维表面形貌仪、三维表面粗糙度仪、

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