日本小坂ET200台阶仪
产品简介
详细信息
日本小坂与AFM 的差异zui主要是触针形状不同，ET（俗称Alpha-step）是R 2um/60度钻石制、AFM 是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都OK，差异是有些细微表面ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以AFM为主。
日本小坂主要特性
一. 再现性与线性度
再现性• • • 可达0.1nm
线性度• • •针对不同厚薄样品，使用同一感度
二. 高解析度
高解析度• • •特别是针对thin film更佳
纵轴zui高解析度0.1nm
横轴zui高解析度0.01um
可测定微细形状
三. 低测定力
低测定力• • •效果可比拟非接触
测定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意设置
可测定软质材料面，如：ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等.
【详细咨询】：北京泰亚赛福科技发展有限责任公司
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