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特点
探针台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征。
 双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到*化的小区域三维测图
 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，域三维测图
 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从150mm X 150m 。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。
 接触式探针台阶仪在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
 针尖扫描采用双光学传感器，拥有宽阔测量动态范围（zui大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（zui小０.１nm ）
 软件设置恒定微力接触
 简单的2步关键操作，友好的软件操作界面
应用
    台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。将台阶仪带入了另一个高精度测量的新时代。

三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。
薄膜和厚膜的台阶高度测量
划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量
空间分析和表面纹理表征
平面度和曲率测量
二维薄膜应力测量
微电子表面分析和MEMS表征
表面质量和缺陷检测
环境要求
湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝
温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时）
电源要求：110/240V，50/60 Hz

技术规格 标准样品 台阶高度标准样品（NIST认证） 100μm
系统 光学照相机视场范围 1.5 X 1.5mm
光学照明 软件控制暗场和亮场
电脑 Pentium IV, USB2.0联接
操作系统 Win XP
系统动力需求 90-240V，350W
空间尺寸 20’’ 宽X 22’’长 X 25’’高
重量 160lb