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　　【仪器网 展商报道】2024年10月23日，第十四届中国国际纳米技术产业博览会(简称“纳博会”)在苏州国际博览中心盛大开幕。作为纳米科技领域的盛会，纳博会吸引了全球各地的纳米技术相关企业、科研机构和专业观众前来参展和交流。本次展会聚焦微纳制造、第三代半导体、柔性印刷电子、纳米压印、纤维/凝胶/影像材料、光电/激光、新型显示、分析检测、纳米应用等领域，为纳米领域技术展示和交流提供重要平台。上海纳腾仪器有限公司(以下简称“纳腾仪器”)作为纳米科学仪器领域的佼佼者，携其产品亮相此次纳博会，成为展会的一大亮点。
 

　　纳腾仪器是一家专注于为微纳米科学领域提供相关设备和服务的企业，同时也是国内微纳耗材销售众多的公司。自成立以来，一直致力于推荐、引进和转化在纳米科学、物理、化学、材料科学、生命科学等科研教学领域内起重要作用的新仪器和新产品。此次参展，公司带来了多款产品，包括Zeta光学轮廓仪、Pharos 310电子束曝光系统、Filmetrics R50薄膜电阻率测绘系统等。
 

　　在展会现场，纳腾仪器的展位吸引了众多专业观众的目光。公司代表详细介绍了产品的技术特点和应用领域，并现场演示了产品的操作流程和实际效果，赢得了现场观众的一致好评。
 

上海纳腾仪器有限公司展位
 

　　Zeta光学轮廓仪
 

Zeta光学轮廓仪
 

　　基于 ZDot 专利技术，KLA 的 Zeta-20/300 光学轮廓仪可以对近乎所有材料和结构进行三维成像测量分析，从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。由于多种光学模式和模块化设计理念，纳腾仪器为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求，所有硬件安装和操作都简单易用。Zeta-20三维光学轮廓仪集成了六种光学计量技术，同时采集高分辨率 3D 扫描和真彩色无限对焦图像，也可用于样品审查或自动缺陷检测。该产品广泛应用于医疗卫生、电子、航天、汽车等领域。
 

　　Zeta-20三维光学轮廓仪优点：
 

　　1.多功能——能够在任何表面上进行多次测量
 

　　2.特定应用软件和算法
 

　　3.对振动和样品倾斜不敏感
 

　　4.高光通量设计——实现其他系统无法进行的测量
 

　　5.易于使用——用户可以快速启动和运行
 

　　Pharos 310电子束曝光系统
 

Pharos 310电子束曝光系统
 

　　电子束曝光指利用聚焦电子束在光刻胶上制造图形的工艺,是光刻工艺的延伸应用。电子束曝光系统是实现电子束曝光技术的硬件平台，系统的性能决定了曝光工艺关键尺寸、拼接和套刻精度等指标。
 

　　Pharos 310可在4寸基片上曝光<20nm关键特征尺寸。利用Pharos310系统可轻松曝光复杂版图，是实验室条件下进行亚微米至纳米级别光刻技术研发的利器。
 

　　Filmetrics R50薄膜电阻率测绘系统
 

Filmetrics R50薄膜电阻率测绘系统
 

　　Filmetrics R50是KLA薄膜电阻和电导率系统的最新产品，它的性能针对金属膜均匀性映射、离子掺杂和注入表征、膜厚度和电阻率映射以及非接触膜厚度测量进行了优化，被广泛应用于半导体、复合半导体、先进封装、太阳能、平板和VR显示、印刷电路、可穿戴设备、导电材料等领域。
 

　　Filmetrics R50薄膜电阻率测绘系统的优势：
 

　　1.可选接触式四探针探头和非接触式涡流探头
 

　　2.最大样品高度100mm，具有粗调和细调两种高度控制方式
 

　　3.导电材料和半导体薄膜的测量技术领先十年
 

　　4.使用矩形、线性、极轴和自定义配置的测试点自定义编辑
 

　　5.高精度X-Y工作台，Z向行程200mm。
 

　　6.易于使用的软件界面
 

　　7.兼容所有KLA薄膜电阻探头
 

　　此次亮相纳博会，不仅展示了纳腾仪器在纳米科学仪器领域的较高地位和创新能力，也为公司拓展市场、提升品牌影响力提供了重要契机。未来，上海纳腾仪器有限公司将继续秉承“创新、专业、服务”的企业理念，致力于为各大高校、科研院所、工厂企事业单位提供先进的科学仪器及相关耗材，为推动祖国微纳米事业的腾飞贡献更多力量。
 

　　此次纳博会的成功举办，不仅为全球纳米技术产业搭建了一个交流与合作的重要平台，也为纳腾仪器等企业提供了展示实力、拓展市场的宝贵机会。相信在未来的发展中，纳米技术将继续引领科技创新的潮流，为人类社会带来更多的福祉和进步。