品牌
代理商厂商性质
北京市所在地
省空间
采用我社开发的压电控制器和笔记本电脑,大大节省了空间。
测定速度的提升
改善了图像数据的读取以及解析算法,加快了测定的速度。
可自动校准
配上3轴压电受台(选件),可实现干涉仪条纹设为0条纹的校准作业的自动化,可提高作业效率(球面测定时)。
解析软件的高机能化
更新为以自动校准机能为中心的解析软件,可对应更精细的需求。
数码变焦机能
用数码变焦可在1倍到3倍以每0.1的倍率设定,微小机件的确认也变得简单了。
2D、3D彩色图像显示
通过2D彩图的显示可确认波面相位以及横切面的形状。3D图像更能直观地显示波面的相位。
合格与否的判定机能
设定规格值,在生产线上可简单地进行合格与否的判定。而且可设定与客户定义像差相对应的规格值。
可定制画面
具有保存、读取画面排版状态的机能,可设定适合使用场所以及产品的排版。
主要用途:
· 评价镜片、平面光学部品研磨面的面精度
· 评价镜片、平面光学部品透过波面的定量
· 评价反射镜、硬盘、晶片、磁头等金属面的面精度评价
规格
解析方式 | 条纹扫描方式 |
测定条纹条件 | 正弦波状强度分布的干涉条纹 (不可进行多重干涉的干涉条纹解析) |
干涉条纹显示图像尺寸 | 640×470(像素) |
再现性 | PV值:0.01λ(2δ)以下、 RMS值:0.003λ(2δ)以下 |
解析机能 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系数的解析与显示 |
合格与否的判定 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的规格值设定与合格与否的显示 |
3轴压电受台冲程(选件) | 粗动:±3mm(XYZ的各轴) 微动:12μm(XYZ的各轴) |
使用环境 | 水平无震动的场所 (地面震动±0.8/S2)以下 温度:23± 3℃ 湿度:60%以下,无凝露 |
· 因测定时的设置环境不同,会发生机械性能不能充分发挥的时候,敬请原谅!
· 本装置不保证Traceability体系中的精度。
主画面
解析结果以2维图表以及3维鸟瞰图表示。在2维图表中可显示横切面的形状。而且各像差以及Zernike系数将以数值形式显示。如有设定规格值时,将会显示柱型统计图以及合格与否(○/×)。可在菜单中进行各种设定、数据的保存以及读取。
<解析结果显示技能>
· P-V、RMS、Pwr
· 赛德尔像差Tilt、Focus、像差AS、慧差Coma、球差Sa3
· 3维鸟瞰图、2维彩图
· 横切面侧面像(X、Y方向、PV、RMS)
· 合格与否判定结果
<文件输入输出机能>
· 工作参数的保存与读取
· 条纹数据的保存与读取
· 测定区域的保存和读取
· 画面版面的保存与读取
· 主窗口打印
测定结果保存
测定结果可作为条纹数据保存于文档中。且左右画面可作为文本形式复制至剪贴板,可粘贴到表计算软件。
测量区域设定画面
可同时设定四角形、圆形、多角形的多个测量区域。在不进行特殊形状设定时,亦可令程序按百分比自动圈划区域。
<测量区域机能>
· 特殊形状区域设定(四角形、圆形、多角形、自动圈划区域)
· 自动圈划设定
工作参数设定画面
可设定产品名等的属性,波长选择、Fitting次数选择、像差清除设定、表示单位选择、对Zernike系数的offset的设定、规格值设定、用户定义像差设定等的设定。
<工作参数设定机能>
· 产品名、单位名、注释
· Fitting次数(3/4/9/16/25/36)
· 像差清除(像差/Zernike系数)
· 显示单位(λ、μm、nm、条纹)
· 对Zernike系数的offset设定
· 规格值(各像差以及用户定义式)