纳米压痕仪（Nanoindentor）

纳米压入测试仪 （0.1 - 500mN）
纳米压入测试仪主要适用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，测量结果通过载荷及压入深度曲线计算得出，无需应用显微镜观测压痕面积。纳米压入测试仪可被用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

瑞士CSM仪器公司三十年来致力于为材料、物理、机械工作者提供*、精准、全面的材料机械性质测试仪器、分析咨询以及测试服务。我们的主要产品包括：
测量材料硬度和弹性模量的纳米级、微米级仪器化压入测试仪（纳米压痕仪, 显微压痕仪）；
界定膜基结合强度、薄膜抗划擦能力的纳米级、微米级、大载荷划痕测试仪 （Scratch tester） ；
包括真空、高温以及线性往复运动等选项的摩擦磨损测试仪、纳米摩擦仪 （摩擦磨损试验机 ；
zui简便易用的膜厚测试仪；
用于三维成像表征材料表面形貌的原子力显微镜 （AFM） 和白光共聚焦显微镜 （Confocal Microscope） 。

• 技术参数

• zui小有效加载载荷： 25uN
  zui大有效加载载荷 50mN（或100mN, 出厂前设定）
  有效载荷分辨率 1nN
  zui小接触力 100nN
  zui大压痕深度 100um
  位移分辨率 0.0003nm
  位移信号噪声水平 0.03nm
  位移信号稳定水平（或热漂移） 0.008nm/sec
  加载模式 高精度压电驱动加载
  位移测量 三个电容位移传感器
  符合ISO 14577-1，2，3标准
  加载模式：
  线性加载，连续加载卸载，二次项加载，恒应变速率加载，位移控制加载
  正弦加载（DMA模式）：
  能够通过一次压痕获得接触刚度、硬度和弹性模量随压痕深度的连续函数分布；
  能够测量材料的储存模量、损耗模量和阻尼
  能够在压入过程中通过反馈系统保持恒定的简谐位移振幅。
  简谐力频率范围: 1Hz to 200Hz
  
  
  XY 工作台： 120 x 20 mm ，245 x 120 mm （OPX+）
  XY 工作台位移分辨率 ：0.25 μm ，0.10 μm （选件）
  光学显微镜放大倍率： 200x, 4000x
  光学显微镜摄像镜头： 彩色 768 x 582*

• 主要特点

• 特点
  主动参比测量设计
  超高热稳定性
  深度与载荷信号的电容传感器测量
  双压电加载装置（更加可靠的设计）
  双载荷传感器（闭环力反馈系统）
  符合标准ISO 和 ASTM
  集成自动光学测量系统
  带有反馈系统的载荷加载装置
  仪器操作系统软件包

  可扩展选项
  真空或湿度环境控制
  原子力显微镜
  高分辨率工作台 （精度0.25微米）
  高分辨率CCD光学显微镜
  环境保护罩