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灵活的系统组合、的成像性能、稳定的系统结构,MX6R系列专业应用于工业检测及金相分析领域。
各项操作根据人机工程学设计,大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。
■ 采用无限远色差校正光学系统
■ 长工作距、明暗场两用平场消色差物镜,成像清晰、像面平坦
■ 配备反射式柯拉照明系统,为不同倍率的物镜提供均匀充足的照明
■ 正像三通观察筒,25°倾斜,极大的提高了观察的舒适性与操作的适应性
■ 配备了4寸带离合器的机械平台230X215mm,行程105mmX105mm,可快速移动
■ 舒适人机学设计,高刚性镜筒,“Y”型底座,调焦机构采用前置式操作控制,精微调同轴
■ 光源采用宽电压数字调光技术,具有光强调定与复位功能
■ 可选配摄影摄像装置、简易偏光装置、干涉滤光片、测微尺等附件,拓展应用领域
配 置 | 参 数 | |
型号 | MX6R | MX6R(透反) |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | |
观察方法 | 明场/斜照明/偏振光/DIC | 明场/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
观 察 筒 | 正像观察筒,25°铰链式三目,分光比,双目:三目=100:0或0:100 | |
目 镜 | PL10X/22平场高眼点目镜 | |
转 换 器 | 5孔内倾式明暗转换器,带DIC插槽 | |
物 镜 | 无限远长工作距明暗场金相物镜5X LMPL5X /0.13 WD11mm | |
无限远长工作距明暗场金相物镜10X LMPL10X /0.25 WD9.5mm | ||
无限远长工作距明暗场金相物镜20X LMPL20X /0.4 WD3.4mm | ||
无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X LMPLFL50X /0.6 WD7.5mm | ||
无限远长工作距明暗场半复消金相物镜100X LMPLFL100X /0.80 WD2.1mm (选配) | ||
调焦机构 | 粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出 | |
载 物 台 | 4英寸机械移动平台,低手们粗微同轴调节,平台面积230X215mm,移动范围:105X105mm,含金属载物台板,右手位X、Y移动手轮,配平台接口 | 4英寸机械移动平台,低手们粗微同轴调节,平台面积230X215mm,移动范围:105X105mm,含玻璃载物台板,右手位X、Y移动手轮,配平台接口 |
显微镜镜体 | 粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出 | 粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,双路电源输出 |
反射照明系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆,12V100W卤素灯,光强连续可调 | |
偏光附件 | 检偏镜可360度旋转,起偏镜和检偏镜均可移出光路 | |
CTV接口 | 1X(标配)、1/2X(选配) | |
透射照明系统 | / | 单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调。N..A.0.5聚光镜,带可变孔径光阑 |
采用6寸平平台设计,行程158×158mm,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。
转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。
工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。
明场观察(透射)
5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光镜,可以透照明下,观察LCD彩色液晶显示屏,器件框架边缘等。
透射照明与反射照明为独立控制,即可同时亮,也可单独亮。
明场观察(反射)
远心坷拉反射照明系统,配以全新设计的无限远平场消色差长工作距金相物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。
简易偏光观察
将起偏器镜及检偏镜插板插入照明的位置,即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和360°旋转式两种。
暗场观察
将暗场照明拉杆拉到位置,即可使用暗场功能,可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷,暗场功能只限于MX6R/MX6R(透反)机型。
DIC微分干涉观察
在正交偏光的基础上,插入DIC棱镜,即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术,可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,极大的提高图像的对比度。
5X、10X、20X专为DIC设计,使得整个视场的干涉一致,微分干涉效果非常出色,高倍物镜DIC效果也较好。