高纯气体的分析是以痕量分析为基础发展起
来的，高纯气体纯度的确定方法是根据杂质分析结
果间接确定的。即分析出高纯气体中痕量杂质成分
的含量，然后用差减法确定高纯气体的纯度。其主
要原因有：
a．以目前分析科学的技术水平，即使用zui高技
术水平的方法来直接测定浓度，测定的位数zui大才
达到6位。其原因是，用于纯度计算等方面的各种
量的确定和物理常数的位数都不能达到6位数以上
的要求，因而在应用技术水平范围内，进行4位数
以上的测定已接近技术所能达到的极限。
b．由于分析仪器的发展，分析多种杂质已经成
为可能。用标准化了的仪器分析多种成分，已可达
到很高的度，使得求出杂质量后用差减法计算
纯度的方法变得相对比较简单。
c．出于对高纯气体本身的要求，不仅要求其具
有很高的纯度，还对其中的痕量杂质成分含量有严
格的控制，因而必须按气体标准规定逐项检测痕量
杂质含量，然后再确定高纯气体的纯度。
针对市场对于高纯气体的需求越来越高，现在
各个具有大型空分装置的企业都在积极深挖设备
潜力，扩建改造增大高纯气体的生产规模。同时为
了保障生产气体产品的质量，也都在检测手段上不
断予以完善，以满足高纯气体检测的要求，逐渐从
常规的气体分析技术发展到现在*的分析技术。
2常规的痕量气体分析方法
气相色谱仪作为现代气体分析的一种优
点的分析方法，早已被广泛采用。其zui大的优点之
一是在一次进样的前提下，可对多种成分进行定量
分析，可替代以前检测一种样气中多种杂质成分
时，必须使用多种仪器这种传统的方法和思路。．一
般气体中痕量杂质成分的分析方法，是根据气体种
类以及其杂质组成的不同选用不同的色谱检测方
法。一般常规的色谱柱分离手段可以实现各个杂质
成分的有效分离，但是由于各种检测器的检测限不
同，常规的检测器只能对高纯气体中的个别杂质成
分进行测定。
热导池检测器（TcD）具有结构简单、性能稳定、
灵敏度适宜、线性范围宽的特点，于常规分
析，也可以用于微量分析。虽然理论上可以实现高
纯气体中的无机气体杂质如N2、Hz、0z的检测，但
是由于检测器的检测限只能达到104，一般并不能
达到高纯气体中痕量杂质的检测要求。
氢火焰离检测器（FID）具有灵敏高、响应快、
线性范围宽的特点，操作简单，稳定可靠，是目前
zui常用的检测器之一。氢火焰检测器对于有机气体
如cH4、c2H．的检测非常灵敏，无机气体c0、c 也
可以通过加氢转化后再用氢火焰检测器测定。氢火
焰的灵敏度可以达到10～ ，可以满足高纯气体中有
机杂质和含碳无机痕量杂质的检测要求。