常见故障与排除方法：

1、 真空度达不到15Pa以下

（1） 检查真空泵与主机之间连接，卡箍是否正确卡紧。

（2） 检查有机玻璃罩下端平面是否清洁，有无伤损。

（3） 检查“○”型密封圈是否清洁，放置是否正确。

（4） 检查真空泵工作是否正常，观察泵油是否清洁。

（5） 检查真空阀是否拧紧。

2、 真空泵漏油

（1）检查机身部位，更换所需配件。

3、 冷阱温度偏高

（1）环境温度过高，散热不良，请将机器置于环境温度合适，通风良好处。

（2）如若制冷系统故障，请与公司技术工程师。

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