*的样品台设计概念

飞纳台式扫描电镜优中心样品杯采用*的设计，它包含了一个可以实现优中心倾斜和优中心旋转的子样品台。因为该样品台可以*整合到一个常规的飞纳电镜大样品室版 Phenom XL 样品杯中，从而可以在 1 分钟内实现装卸样品。而且，它也不需要繁琐、昂贵的升级。样品台的性能同样十分*:样品可以倾斜到 90° 角，之后仍然能够进行平移。优中心样品杯本身就具有 4 个马达轴，再结合主样品 台的两个马达轴，用户可以轻松实现样品的升降，倾斜，旋转和平移。
 

操作方式同样*一格。优中心样品杯由一个全新的界面控制，以实时、可视的 3D 模型展现出来。这一模型能够始终展示样品的真实位置和朝向。在可视化模型中，导航相机（飞纳电镜大样品室版 Phenom XL 标配）可以拍摄样品的原始图片，所以样品本身也是可视化的。终，无论是在腔室内甚至是腔室外，用户都可以灵活自主地选择观察位置。
 

除了 3D 可视化模型，用户界面还内置集成有防撞逻辑算法， 可以实现样品台移动过程中无任何担忧，确保了样品和电镜的安 全，从而也就不再需要传统的光学相机和接触探测器了。
 

操作界面可以帮助用户轻松地移动样品。放入样品后，借助界面内旋钮，可以快速寻找到样品的优中心高度。一旦高度合适，无需在 SEM 界面设置大量参数，即可轻松实现样品的倾斜、平移和旋转。
 

有大量的应用案例表明样品的倾斜和旋转意义重大。倾斜或旋转后，可以从不同角度来观察样品。这一点在许多案例中十分有用，比如测量样品的深度、高度和厚度特征，检查镀层之间或零件之间的连接情况。在能谱元素分析中，倾斜功能也同样十分有用。不平整样品可以通过倾斜，使被分析面变得水平，从而提高能谱元素分析的准确度。
 

可视化的 3D 模型能够实时观察样品及其位置
 

倾斜样品在飞纳电镜大样品室版 Phenom XL 中的操作界面视图。所有保存图片的元数据包含相关倾斜和旋转角度
 

样品倾斜

当样品倾斜后，目标区域和焦距都发生了变化（见上图），结果用户看到的是样品的另一个区域，再者聚焦情况也发生了变化，导致图像模糊。利用优中心样品杯，样品优先移动（在高 度和 XY 平面）来保持与机械倾斜轴*，这就是所谓的 “ 优中心位置 ” 。当用户倾斜样品时，观察样品的区域和位置都不 发生改变。
 

飞纳台式扫描电镜优中心样品杯允许样品倾斜 90°角，倾斜过程中用户无需在电镜设置界面改变大量参数。
 

样品旋转

当样品发生旋转时，目标观察区域往往也会随之移动，用户需要去调节 (X,Y) 位置来重新找回观察区域。

优中心样品杯可以使用户在目标观察区域旋转样品，而且同样适用于旋转轴与观察区域不*的情况，这就是 “ 优中心旋转 ” 。优中心样品杯自动运用多马达轴来保持 (X,Y) 位置不变，甚至当样品发生倾斜时，也能确保如此。