扫描电子显微镜(SEM)是依靠电子束与样品相互作用产生俄歇电子、特征 X 射线和连续谱 X 射线、背散射电子等信号，对样品进行分析研究。
 

　　扫描电镜在表征样品时，受诸多参数的影响，不同类型样品应选用合适的参数，才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下，电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。从理论上说，入射电子在样品中的散射轨迹可用 Monte Carlo 的方法模拟(如图1 所示)，并且推导得到入射电子大穿透深度 Zmax。
 

　　Zmax=0.0019(A / Z)1.63E01.71/ρ
 

图1 电子在钛(Ti)金属中的运动轨迹