美国英福康IC6高性能膜厚控制仪
IC6 薄膜沉积控制器
不变的是超卓的表现
功能丰富的 IC6 提供提供上佳测量精度
IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多*的功能，可帮助您实现沉积过程的巨大价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的翘楚。IC6 具有其他石英晶体控制器*的性能、品质和功能，赋予您的过程超卓的可重复性。
功能
- ·INFICON ModeLock 技术确保获得高、稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率超低的情况下
- ·Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
- ·支持上限六个来源同时共沉积
- ·彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
- ·100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
- ·USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
- ·强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统（使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器，14 TTL 输出)，并充分利用逻辑功能（100 个逻辑语句）
- ·6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
- ·可容纳上限 50 个过程，每个过程 200 层，这些过程关联到一起，总共可容纳 10,000 层。
- ·多路传感器可平均分配为 8 个传感器
- ·4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
- ·可选以太网通信
- ·Optional IC6 Configuration Editor Software (part number 781-620-G1) - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
- ·符合 RoHS 标准
美国英福康IC6高性能膜厚控制仪
典型应用
