品牌
生产厂家厂商性质
所在地
技术规格参数:
参数/ 型号 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H | |
机 台 结 构 | 玻璃台尺寸(mm) | 885×1158 | 1085×1358 | 1285×1658 |
X、Y轴运动行程(mm) | 800×1000 | 1000×1200 | 1200×1500 | |
X、Y轴速度(mm/s) | 300 | |||
Z轴运动行程(mm) | 200 | |||
外形尺寸(m) | 2.17×2.38×1.56 | 2.37×2.58×1.56 | 2.57×2.88×1.56 | |
整机重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 | |
光 学 系 统 | 光源 | 表面光源--LED表面环形光源 底光源--LED新型直线光源 | ||
光栅尺分辨力 | 0.5um | |||
X、Y示值误差 | (3+L/200)um | |||
激光平面度测量 | 重复性3um(选配激光位移器时) |