产品简介 低温催化型气体纯化系统使用自有催化剂和吸附剂,具有使用寿命长、纯化深度高、抗原料气瞬间波动能力强等优点，采用物理吸附和催化反应联用，能够在室温下将惰性气体及N2中的H2O、O2、CO、CO2、H2和MCHC纯化到小于1ppb的水平，也能去除H2中的O2、CO2和H2O等。该套系统具手动、半自动和全自动3种操作类型，可根据使用要求自选。
产品性能
◎适合不低于99.999%纯度的原气配合使用
◎此产品为双式结构，一组工作，另一组再生备用
◎纯化深度高，出口各种杂质含量＜10ppb◎电化学抛光316（L）不锈钢
◎内置高效粒子过滤器
◎采用催化和吸附工艺联用
◎工作温度低，设备更节能
产品应用
◎保护气纯化：钢铁、石化、机械行业
◎高纯单晶硅、晶片外延、大规模集成电路、光电产品生产等电子工业气体终端纯化
◎半导体工艺设备：CVD、MOCVD、HVPE、扩散炉等
◎大宗气体纯化
系统参数
