硬件技术参数: F值范围 | 可检测几乎任何的F值 | 可检测的光学元件直径(平行光) | 几乎任何直径的光学元件(选用合适配件) | 测试设置 | 双或单通道 | 标准透镜阵列的直径和焦距 | (0.2mm, 11mm), (0.2mm, 22mm), (0.3mm, 41mm). Others: (0.13mm, 7mm). Special | 相机接口 | 千兆以太网,USB2,USB3 | 分辨率(0.2mm直径透镜阵列和USB3相机),9mm入瞳直径 | 45x45(0.2mm直径阵列);69x69(0.13直径阵列) | 分辨率(千兆相机透镜阵列),15mm入瞳直径 | 75x75(0.2mm直径阵列);115x115(0.13直径阵列) | 非球面元件测量 | 测量纵向球面像差15%的变化 | 泽尼克多项式计算RMS重复性 | 1-2nm rms(λ/600-λ/300)at 633nm | 波前测量RMS重复性 | <λ/200 | 准确度 | λ/10-λ/100(取决于校准元件的准确度) | 子瞳动态测量范围 | ±50 λ | 波长范围 | UV(0.193-1.1μ),Vis(0.193-1.1μ), 0.95-1.7μ | 光源 | LEDS,LDS,卤素灯 | 软件(控制和分析) | Sensoft | 采样频率 | 15-500Hz(相机决定) | 处理频率 | 5-150Hz(相机和电脑决定) | 准直器步进电机供电需求 | 12V/2A DC | 触发 | TTL 5V |
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