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UL1000Fab干式氦质谱检漏仪 的详细介绍
INFICON UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。
通过结合较高氦气吸气能力和高进气口压力的*真空结构,UL1000 Fab干式氦质谱检漏仪提供的*的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。软件 I-CAL(智能泄漏率计算法)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。
使用额外的 TC1000 测试盒配件,UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试,如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管(根据 MIL-STD 843,方法 1014)。