1 质量范围：3－280amu
2 质量分辨率：多元素分析不同元素可以设置不同的分辨率，在一次分析中分辨率0.3amu－3.0amu连续可调。
3 线性动态范围：系统的线性动态范围至少9个数量级，数据偏离线性不超过5％。
4 丰度灵敏度：在M＋1处优于10⁷，在M－1处优于10⁶。
5 背景稳定性：定义为220amu处背景信号的平均值，低于1cps。
6 交叉污染与记忆效应：在正常的仪器运行条件下，绝大部分元素应在30秒内清洗使信号降低到原来信号的0.1%以上。
7 多电荷离子：在正常的仪器运行条件下，Ce⁺⁺的峰强度小于Ce⁺强度的3％。
8 质量校准稳定性：小于0.05amu每天，无需使用多点寻峰算法。
9*稳定性：定义为10 µg/L的²⁴Mg， ⁶³Cu， ¹¹⁴Cd， ²⁰⁸Pb 混合多元素溶液平均信号的标准偏差，不加内标，每10分钟测量一次。 4 小时稳定性 <3%RSD
10 数据获取：系统扫描谱图的速度为5000amu/s，为测量ETV、FIAS和LA等进样装置产生的瞬时信号，系统应可以采用单点跳峰测量方式，每个选定的峰的测量时间可以为100 µs。 
11 时间分辨数据获取：为监测瞬时时间分辨信号，ICP-MS系统应在1秒内完成50个全谱的扫描。
12 精密度：定义为10 µg/L的²⁴Mg， ⁶³Cu， ¹¹⁴Cd， ²⁰⁸Pb 混合多元素溶液平均信号的标准偏差，3秒积分，连续测定10次。<3%RSD。
13 灵敏度、双电荷离子、氧化物离子、背景和检出限：在同样一个仪器条件下，¹¹⁵In的灵敏度应在150´10⁶ cps/ppm 以上，同时Ce⁺⁺的峰强度小于Ce⁺强度的3％，CeO⁺/Ce⁺的比值应低于3％，220amu处背景信号的平均值应低于1cps，以每个质量数只测量一个点的单点跳峰方式和3秒的积分时间，测量空白的标准偏差的3倍进行计算，¹¹⁵In的检出限应优于0.1ppt。
14同位素比精密度：定义为 25 µg/L的银溶液中 ¹⁰⁷Ag/¹⁰⁹Ag 的同位素比精密度，使用单点跳峰方式进行测量。 <0.08% RSD