TC Wafer热电偶 晶圆热电偶温度传感器 半导体热电偶
时间：2023-09-14 阅读：550
随着航空航天、汽车电子、**、光伏、工业自动化等许多领域技术的不断发展，芯片在各种**温度环境下的应用也越来越广泛。作为晶圆测试中的关键设备，探针台的运作原理在于通过其探针与被测器件上的 PAD 点精确对位，以实现测试机输出激励信号的互通与信号反馈，最终获取和采集测试数据。高低温真空探针台可以很好的满足极低温测试和高温无氧化测设。在整个测试过程中，工程师们追求以最短的时间获得可靠的测试数据
TcWafer热电偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等！（温度的均匀与否，良率）
| 技术指标 |
名称 | Wafer-TC晶圆热电偶温度传感器 |
| 温度范围 | -50-700 |
| 工艺 | 低温：-150-700℃硅基胶粘剂 高温：-150-1200℃焊接设计 |
| 传感器引线 | 可定制 |
| 绝缘材料 | 石英，Teflon，二氧化硅，陶瓷，PA |
·应用场景
1. 半导体制造厂 Fab，硅片厂，晶圆制造厂
2. 封装测试厂
3. PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate…
4. 半导体设备制造商
5. 高温工艺设备腔体温度的监控
·我们的优势
精度高、交期短、服务响应快。
· 半导体制造厂 Fab，PVD/CVD 部门、RTP 部门等使用
· 传感器可以定制
· 高精度多通道数据采集仪
· 优异的软件功能，方便数据统计、趋势绘图和数据导出