3月20日，规模很大、规格很高的半导体产业年度盛会SEMICON China 2019半导体展在上海新博览中心盛大开幕，吸引了超过1000家展商及50000名专业观众积极参与。GENTEC®捷锐也携多款产品亮相本届展会，展示了阀门分流箱、特气控制面板及超高纯减压器等在半导体行业中蕴藏的巨大价值，吸引了众多观众到场参观体验。
 

 

　　双瓶全自动气瓶柜：

 

　　l  半导体行业特气气瓶柜，用于小流量工艺气体的气源；
 

　　l  双瓶自动切换可实现连续供气，自动吹扫以防止危险气体泄漏并保证工艺气体纯度；
 

　　l  阀门管件均采用316L不锈钢，内表面EP处理，避免杂质的产生；
 

　　l  配备有压力传感器、过流保护开关、高温探头、抽真空装置及高精度过滤器等装置；
 

　　l  采用西门子的PLC控制，稳定可靠，触摸屏人机交互界面清晰直观，操作方便；
 

　　l  根据气体性质不同可选配面板加热，红外紫外火焰探测器等配置，适用范围广。
 

　　半自动阀门分流箱：

 

　　l  半导体行业特气阀门分流箱，用于特气主管道到各工艺几台之间的分流；
 

　　l  阀门管件均采用316L不锈钢，内表面EP处理，避免杂质的产生；
 

　　l  主管道配有压力传感器，有超压报警功能并可与气柜联动；
 

　　l  各支路可单独供气和吹扫，采用开关控制气动阀操作方便；
 

　　l  各支路单独调压，满足不同工艺几台的需求；
 

　　l  各支路均配有高精度过滤器，保证工艺气体的纯度。
 

　　为客户提供安全及物超所值的产品与服务，是捷锐的经营使命。欲了解更多GENTEC捷锐®特气相关产品，致电捷锐，捷锐全体员工期待为您服务。