液体颗粒计数器检测电子级强酸强碱
时间：2024-03-28 阅读：222
1、单酸碱：硫酸、氨水、双氧水、磷酸、硝酸、盐酸、冰醋酸、氢氧化钾、氢氧化钠等。
2、作用：电子级强酸强碱多应用于半导体制造过程中对零部件的腐蚀和清洗，表面处理中。
3、SEMI等级标准：电子化学品的判定通常采用电子化学品SEMI国际标准等级表。
电子化学品SEMI国际标准等级表
SEMI等级 | IC线宽 | 金属杂质 | 控制粒径 | 颗粒（个/mL） |
C1 | ＞1.2 | ≤1000（1ppm） | ≤1.0 | ≤25 |
C7 | 0.8~1.2 | ≤10（10ppb） | ≤0.5 | ≤25 |
C8 | 0.2~0.6 | ≤1.0（1ppb） | ≤0.5 | ≤3 |
C12 | 0.09~0.2 | ≤0.1（0.1ppb） | ≤0.2 |
4、判定仪器和液样：
使用仪器：PMT-2 液体颗粒计数器，防腐型，检测范围0.1-1.0um，检测粒径0.1、0.2、0.5、1.0um。
液样：硫酸、氢氧化钠
5、检测结论：
看检测结果里的积分值，看≥0.1的粒子数量，≥0.2的粒子数量，≥0.5的粒子数量。参照数量的个数来判定所测样品达到那个级别的。
应用：化学品生产商一般在实验室使用离线取样检测的方式。抽取产线上数个液样，按照批次来进行检测。反应所生产液样的工艺是否达标。
6、注意事项：
确保仪器的准确性：在使用前应对仪器进行校准，以确保检测结果的准确性。
避免交叉污染：清洗容器，避免容器壁上的颗粒进入检测液样；在百级清洁环境里进行检测，避免空气中的大颗粒进入检测液样。