产品简介

椭偏仪测膜厚的优点?1.测量对象广泛：可测透明膜，多层膜和其他性能不同厚度不同的膜。?2.被测量的薄膜尺寸可以很小。?3.测量速度快。（7-13s检测时间）?4.光学测量方法对样品表面损伤zui小。?5.测量精度高，海洋光学椭偏仪可以达到0.1nm的精度，而国内同类型产品只能达到1nm精度.?6.非苛刻性测量，样品可是块状固体或薄膜

详细介绍

海洋光学SpecEl 椭偏仪的基本原理：测量光在反射或者穿透待测样品时其偏振性质的改变。而偏振性质的改变主要是由样品的性质，如厚度d、折射率n或消光系数k决定。

•偏振态的改变主要表现为振幅tan（Psi）和相位cos（Delta）的变化，而相位的变化会导致干涉条纹的产生，椭偏仪就是根据干涉光谱的分析来得出n,k,d.
•椭偏仪优势：非破坏性、非苛刻性、高精度和高灵敏度

海洋光学SpecEl 椭偏仪

SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。

集成的精确测量系统

SpecEl由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成，并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜，并且折射率测量可达0.005%。

SpecEl软件及Recipe配置文件

通过SpecEI软件，你可以配置及存贮实验设计方法实现一键分析，所有的配置会被存入recipe文件中。创建recipe后，你可以选择不同的recipe来执行你的实验。

SpecEI软件截图显示的Psi及Delta值可以用来计算厚度，折射率及吸光率。

配置说明

波长范围:	380-780 nm （标准）或450-900 nm （可选）
光学分辨率:	4.0 nm FWHM
测量精度:	厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:	70°
膜厚:	单透明膜1-5000 nm
光点尺寸:	2 mm x 4 mm （标准）或 200 µm x 400 µm （可选）
采样时间:	3-15s （zui小）
动态记录:	3 seconds
机械公差（height）:	/- 1.5 mm, 角度 /- 1.0°
膜层数:	至多32层
参考:	不用

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