该系列扫描探针显微镜(SPM)有以下特点 ：



集成原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(LFM)和扫描隧道显微镜(STM)

原子力显微镜具有接触、轻敲、相移成像等多种工作模式

具有I-V曲线和力曲线等测量分析功能

具有图形刻蚀模式和矢量扫描模式的纳米加工技术

样品尺寸增大至直径4.5cm、厚度2.5cm

操作简便，只需要更换探针架，即可切换于STM和AFM等模式

全数字控制的参数设置和采集

系统状态、仪器类型、扫描器和探针架参数智能识别和控制

数字控制反馈回路

16-bit分辨的A/D和D/A，多路同步数据采集和实时显示

基于Windows 9X/ME/2000/XP的在线控制软件和后处理分析软件

计算机操作接口全程在线式帮助及智能提示

扫描图像BMP/TIFF全兼容文件格式，当前全部工作环境参数同步保存

本底及比例的实时调整

实时定点测试功能

可连续采集、存储和重现动态过程

方便的鼠标控制扫描区域平移、剪切功能，扫描角度连续可调

多种样品倾斜度实时校正功能

样品粒度和粗糙度自动分析

按功能模块划分的纵向插卡式结构，便于日后系统维护和升级

可附加第二显示器和光学显微辅助系统

技术参数：

分辨率：
扫描隧道显微镜(STM)： 横向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定标）
原子力显微镜(AFM)： 横向 0.26nm 垂直 0.1nm（以云母定标）

样品尺寸：≤Φ45mm

样品厚度：≤25mm

扫描范围：标准配置1μm×1μm；20μm×20μm；高达100um X 100um的大范围扫描器（选件）

图像采样点：512×512

zui大扫描速率：55000 P/S

进样方式：步进马达控制自动逼近，行程≤30mm，精度≤83nm

扫描控制：双16-bit D/A（相当于26位精度）

数据采样：双16-bit A/D （相当于23位精度）