FIG 05SE 5 离子源
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牛津仪器（上海）有限公司
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SE 5 离子源是一款设计紧凑、使用灵活的冷阴极离子源，zui大束流超过45微安，能量范围从300eV直到5 keV。对于低能离子具有*的束流，使ISE 5适于敏感材料的轰击清洁。由于没有需要加热的灯丝，因此ISE 5的寿命被大大地延长。 束斑尺寸在10 ~ 15 mm之间 离子能量范围0.3 ~ 5 keV，连续可调 zui大束流> 45μA，0.5 keV时大于20μ
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