机电耦合效应是诸多功能材料的基础机制。这其中包括无机大分子材料例如压电和铁电材料以及诸多的生物系统等。而AFM基础上发展起来的压电力显微镜(PFM)是从纳米尺度上研究材料的机电耦合效应的zui有效工具之一。所谓压电力显微镜即是利用原子力显微镜导电探针检测样品在外加激励电压下的电致形变量。为了有效的提取出PFM信号，通常会对探针施加某一固定频率(远低于探针共振频率)的激励信号，通过锁相放大器对PFM信号进行提取。而常规的PFM测试中，激励电压一般为10V左右，所获得的PFM形变信号非常的微弱(pm量级)，几乎和探针的热噪声相当，这*的限制了PFM信号的稳定性和灵敏度。 Asylum Research公司作为业内PFM技术的，为了克服传统PFM的缺点，提高信号的稳定性和灵敏度发展了DART-PFM和高压PFM技术。DART-PFM该技术中有效的利用了探针的共振频率将PFM信号进行放大，提高PFM的灵敏度。*，探针以共振频率振动时，形变量zui大。因此在PFM测试时，如果对探针施加共振频率的激励电压，从理论上讲，此时探针的形变量zui大，Asylum Research公司的MFP-3D和Cypher 原子力显微镜中通过Dual AC Resonance Tracking（DART）技术有效的锁定探针的共振频率，巧妙的利用了共振将PFM信号放大，灵敏度提高了几十倍以上。此外Asylum Research公司的高压PFM技术则是通过对样品施加高电压的激励信号来达到放大PFM信号的目的。在MFP-3D中zui高可以施加220V的测试电压，Cypher中可以施加150V的测试电压，基本能够满足对弱压电材料的研究需求。