在分析的发展过程中，人们从光谱仪器的光源、分光系统和检测器等方面，不断加以改进，发展了火花、等离子体、辉光放电等不同特点的光谱分析方法和仪器。使仪器具有很高的分辨率（实际分辨率可达到0.005nm）和更宽的波长应用范围（可以测至120nm远紫外光区的谱线），可以适用于复杂样品的直接测定，以及金属材料中的氮、氢、氧等气体成分的快速测定。仪器的灵敏度也显著提高，火花直读光谱仪器可以直接测定高纯金属中μg/mL级的痕量元素；等离子体直读光谱仪器的分析灵敏度已可接近石墨炉原子吸收仪器的分析水平；仪器的自动化程度也很高，面向冶金大生产的全自动光谱仪，从自动制样、测量到报出结果仅90s，实现无人自动操作。尽管如此，现代的直读光谱仪仍不够完善：如分光接收系统复杂昂贵，设备安装使用环境条件要求高，仪器仍需在实验室内工作；与已被淘汰的摄谱仪相比，无法象干板记录方式那样保留所有谱线，只能对预先设定好的谱线进行测定，由于受到分光系统和检测器的种种限制，zui多只能记录下50～60条谱线的信息，仍不具有全谱意义。随着微电子技术的发展，固体检测元件的使用和高配置计算机的引入，出现了具有全谱直读功能的仪器，使发射光谱仪器进入全新的发展阶段。