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我们致力于气体等离子处理,即让气体在常温下,无热相变下改变。这些气体可以是惰性的,也可以是起反应的。在反应性气体的情况下,利用动量转移处理以及气体反应的化学性质改变材料的特性。
石英圆柱体等离子系统Quartz Barrel Plasma Systems
SCE104等离子去胶机
4" diameter x 8" long
102毫米直径 x 203毫米长腔体
外形尺寸26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE 106等离子去胶机
6" diameter x 8"long
152毫米直径x 203毫米长腔体
外形尺寸 26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE108等离子去胶机
8" diameter x 8"long
203毫米直径x203毫米长腔体
外形尺寸 26"H x 23"W x 30"D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE110等离子去胶机
10" dia x 18" L long
254毫米直径x 457毫米长腔体
外形尺寸36"H x 21"W x 30"D 914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D
SCE 115等离子去胶机
15" dia x 18" L long
381毫米直径x 457毫米长腔体
外形尺寸22" W x 36" H x 27" D 559毫米x914毫米H x 686毫米 D
SCE150等离子去胶机
10" dia x 18"L 2 4毫米直径x 457毫米长腔体
SCE 604等离子去胶机
Four (4) chambers 4" x 8" diameter Quartz
4个腔体102毫米x203毫米直径石英腔体
控制系统Control System
• PLC - "Touch-Panel" operation
PLC触摸面板操作
• Digital count down timer (hrs, min, sec)
数字倒计时定时器(小时,分,秒)
• Digital On-Screen vacuum display
数码屏幕真空显示器
• Gas flow with needle valve control
气体流量针形阀控制
• Manual tuning standard
手动校准标准
• Optional: Automatic RF tuning for load match
• 可选的:自动射频调整与负载匹配
反应腔体Reactor Chamber
• 4" diameter x 8" long quartz chamber
• 4英寸直径x8英寸长的石英舱体
• RF shielded
• 射频屏蔽
• Front load
• 前负荷
尺寸Dimensions
• 26" H x 23" W x 30" D
• 26英寸(H)x23英寸(W)x30英寸(D)
• 275 lbs Crated weight
• 275磅包装重量。
射频功率源RF Power Source
• 0-150 Watt RF 13.56 MHz supply
• 0-150 W射频13.56兆赫兹供应
• Forward and reflected power readings
• 正向和反射功率读数
• Low frequency optional
• 低频选项
真空系统Vacuum System
• 3.8 CFM Standard service pump
• 3.8 CFM 标准的服务泵
• 1 Phase 50/60 120/208 VAC
• 1 相 50/60 120/208 VAC
• Package with all interconnecting hardware
• 包装包含所有相关硬件
• 选项Optional
• Oxygen service. Class "B" Preparation
• 氧气服务,B类备选