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产品简介
EM-20标配SE探测器,观察微观区域精细表面形貌,同时可选配BSE和EDS,表征微区成分信息,可扩展低真空观察模式,非导电样品直接用Bse探测器观察,免制备导电膜层。
EM-20使用当前的电子光学设计,自动控制技术,二次电子分辨率达到7nm @20KV,是目前台式扫描电镜的zui高水平。
标准配置两轴马达驱动样品台,高速涡轮分子泵真空系统,电子光学系统调节,全部由酷塞目[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作。除了自动功能以外,EM-20扫描电镜还提供给更加专业的用户所有手动调节功能,使得EM-20几乎具备大型机所有的调节功能,从而获得更加专业的图像品质。有别于其他“傻瓜”型台式扫描电镜,EM-20是一台“单反”型产品。
技术特点:
*自动高亮度电子枪,全数字化高压电源,0.5KV~20KV范围内随意调节;
*聚光镜精细控制 Spot size设置10档调节;
*圆锥形物镜,具有更高分辨性能;
*四孔可变光阑,分别用于高分辨观察和不同的分析目的。
*实时灰度直方图,自动亮度对比度;
*X Y 两轴自动样品台
*可选Bse探测器、低真空功能和能谱仪。
*酷塞目NanoStation操作软件,内含丰富的图像编辑处理功能
技术指标:
分辨率:7nm@20kv SEI
电子枪:发叉式钨丝阴极, 预对中灯丝
放大倍数:X20 to X80,000
加速电压:0.5kV to 20kV
探测器:SE Detector,EDS/BSE(可选)
真空系统:全自动涡轮分子泵系统 达高真空时间小于3分钟
样品台:X axis:35mm(马达驱动)
Y axis:35mm(马达驱动)
Z axis:5 to 60mm
R axis:360度
样品尺寸:45mm(H),70mm(Diameter)
视频采集分辨率(Pixel):选区(320x240),TV(640x480),Slow(800x600),
Photo(1280x960,2560x1920,5120x3840)
帧频:选区 (Max.30 frames/sec),
TV (Max.10 frames/sec)
Slow (Max.2 frames/sec)
自动功能:Start,Focus,Filament,Brightness/Contrast
计算机操作系统:Windows 7
操作方式:键盘/鼠标,全触摸屏操作(可选)
外形尺寸:400(W)x 600(L)x 550(H)mm
重量:80kg