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产品简介
EM-30台式扫描电镜拥有EM-20型全部优秀特征以外,加速电压调节范围扩展到30KV,首先对于选配EDS的用户,分析能力获提升,其次获得更高电子光学分辨能力,有效放大倍数进一步提高。另外EM-30样品台增加了马达驱动倾斜台,由酷塞目[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作,不但可实现立体对观察,而且通过对样品台精细地调节角度,可使用样品室SE探测器获得良好的背散射电子图像。
技术特点:
*自动高亮度电子枪,全数字化高压电源,0.5KV~30KV范围内随意调节;
*聚光镜精细控制 Spot size设置10档调节;
*圆锥形物镜,具有更高分辨性能;
*四孔可变光阑,分别用于高分辨观察和不同的分析目的。
*实时灰度直方图,自动亮度对比度;
*X Y 两轴自动样品台
*可选Bse探测器、低真空功能和能谱仪。
*酷塞目NanoStation操作软件,内含丰富的图像编辑处理功能
技术指标:
分辨率:5nm@30kv SEI
电子枪:发叉式钨丝阴极, 预对中灯丝
放大倍数:X20 to X100,000
加速电压:1kV to 30kV
探测器:SE Detector,EDS/BSE(可选)
真空系统:全自动涡轮分子泵系统,高真空时间小于3分钟
样品台:X axis:35mm(马达驱动)
Y axis:35mm(马达驱动)
T axis: 0~45°(马达驱动)
Z axis:5-50mm
R axis:360度
样品尺寸:45mm(H),70mm(Diameter)
视频采集分辨率(Pixel):选区(320x240),TV(640x480),Slow(800x600),
Photo(1280x960,2560x1920,5120x3840)
帧频:选区 (Max.30 frames/sec),
TV (Max.10 frames/sec)
Slow (Max.2 frames/sec)
自动功能:一键成像,自动灯丝饱和,自动聚焦,自动亮度对比度
计算机操作系统:Windows 7
操作方式:键盘/鼠标,全触摸屏操作(可选)
外形尺寸:400(W)x 600(L)x 550(H)mm
重量:80kg