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氮化硅探针
用于接触式、轻敲式或力的测量，高灵敏度，弹性系数极低；
每个基片有6个悬臂，弹性系数为0.01 - 0.50 N/m，有锐化处理，
包装数量：10根/盒
针尖参数
几何：各向异性
针尖高度 (h): 2.5 - 8.0µm
正面角(FA): 15 ± 2.5°
背面角(BA): 25 ± 2.5°
侧面角 (SA): 17.5 ± 2.5°
针尖曲率半径(Nom): 10nm
针尖曲率半径(Max): 40nm
针尖缩进 (TSB)(Nom): 4µm
针尖缩进范围 (TSB)(RNG): 0 - 7µm
