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SBC-12
小型离子溅射仪
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2016-01-12 16:00:00
994
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北京中科科仪技术发展有限责任公司
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产品简介
溅射纳米金膜
详细介绍
本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样*的仪器。
Ø 玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm
Ø 试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯
Ø 金靶尺寸:Φ58mm
Ø 真空系统:直联旋片真空泵2L/S
Ø 真空检测:皮氏计
Ø 真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空
Ø 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气调节
陈
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