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项目 | 描述 |
垂直量程 | ±50μm、±200μm两档可调 |
系统分辨力 | 满量程时8纳米 |
显示分辨率 | 0.001μm |
滤波方式 | GAUSS、2RC、ISO13565 |
标准 | ISO1997、ANSI、JIS2001 |
取样长度L/驱动速度Vt | L = 0.08mm / Vt = 0.25mm/s L = 0.25mm / Vt = 0.25mm/s L = 0.8mm / Vt = 0.5mm/s L = 2.5mm / Vt = 1mm/s 返程速度均为1mm/s |
评定长度Ln | Ln = (1~5)L |
示值误差 / 示值重复性 | 10% / 6% |
测量参数 | Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 |
工作环境 | 温度0 ~ 40℃ 湿度<90%RH |
储运环境 | 温度﹣40℃~60℃ 湿度<90%RH |
外形尺寸和重量 | 156 X75 X 56mm,760g |
传感器驱动套 | 29 X 26 X 120mm |