据中科院结构力学研究室信息在中科院重特大科学研究装备研发新项目的支助下，结构力学研究室我国微重力试验室靳刚研究组取得成功研发出“光谱椭偏显像系统软件”以及产品化样品。

　　该科学研究是运用高精度的电子光学椭偏测量术，另外融合光谱特性及数据显像技术性，具备对繁杂二维遍布的纳米层构薄膜试品的迅速光谱显像定量分析测量工作能力。在专家团对仪器设备特性和各类性能指标开展当场检测的基本上，工程验收专家团一致觉得：系统软件为繁杂横着构造的大规模双层纳米薄膜试品的迅速定性分析和物理性能剖析出示了合理方式，是一种纳米薄膜三维构造定性分析的新方式 。

　　光谱椭偏显像系统软件的特性取决于：数据量大，可另外测量大规模试品上各微区的持续光谱椭偏主要参数，进而能够 得到有关材料科学主要参数(如薄厚、电极化涵数、表层微表面粗糙度、复合材料中的成分占比等)以及空间布局;空间分辨率高，对纳米薄膜的竖向辨别和可重复性均做到0.1nm、横着辨别做到μm数量级;检验速度更快，单光波长下得到图象视场内各微区(42万清晰度之上)的椭偏参数(ψ和Δ)的取样時间做到7秒，比机械扫描式光谱椭偏仪提升2~3个数量级;結果形象化，产生视场内比照测量，可精确精准定位和清除伪数据信号，它是单光线光谱椭偏仪所不具有的，而且系统软件自动化技术水平高，实际操作简单。

　　该系统软件既可运用于单光线光谱椭偏仪所遮盖的行业，也可运用于单光波长或公司分立光波长的椭偏成像仪所涉及到的行业，合适另外必须高室内空间辨别和光谱辨别测量的纳米薄膜元器件测量的场所，这将为椭偏测量发展新的运用方位。现阶段已取得成功运用于“863”新项目“对于恶性肿瘤标示谱无标识检测蛋白质微阵列生物传感器的研发”等科学研究工作上，并将在微/纳生产制造、细胞外基质结构、新式电子元器件、生物芯片及密度高的储存器件等行业中充分发挥关键功效。

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